9.9  Электроизоляционные неорганические пленки

Электроизоляционныенеорганическиепленки,вотличие большинства других электроизоляционных материалов, не получаются в свободном состоянии, а образуются на подложке, являющейся элементом, той или иной электро- или радиотехнической конструкции.Посвоимпоказателям– химическойирадиационной стойкости, нагревостойкости,электрическойпрочности – пленки превосходят почти все известные материалы.

Тонкие электроизоляционные неорганические пленки получили широкое применение в современной радиоэлектронике в качестве диэлектрика в электрических конденсаторах, разделительной изоляции и защитных покрытий в полупроводниковых приборах, разделительной и конденсаторной изоляции в интегральных и пленочных схемах, а также в различных технологических процессах изготовления приборов, например, масок при травлении и напылении и источников диффузанта при диффузионном легировании; оксидные пленки, получаемые электрохимическим окислением, применяют в качестве изоляции обмоточных алюминиевых проводов и лент.